欣橋集團

可應用於第7代至第9代的大型玻璃基板搬運的機器人。
潔淨度為FED10級標準。採用獨有的連桿結構，降低了彎曲和振動，並保證了剛度。

●應用於第7代～第9代基板的系列產品
適用於包括第7代的SJ80C，以及第8，9代的SJ120C
●級別最高的旋轉速度和前後軸速度
在所有尺寸中均縮短了周期
●上下軸採用獨有的連桿結構
能夠抑制彎曲和振動的高剛度結構
無帶式結構，確保高可靠性和安全性
●活動部分的佈線全部內置於手臂內
防止發生微米級塵埃，並使外觀保持整潔